SJT 31155-1994 P436型六位排气台完好要求和检查评定方法
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ID： |
B5BD8E1C05E84E0A97D800F1D233614E |
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文件大小(MB)： |
0.23 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31155-94,P436型六位排气台完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 P436型六位排气台的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于真空器件制造用排气台,2完好要求,2.1主要性能,排气台的性能,应能满足生产エ艺要求。检查时,根据设备性能规定范围,结合产品加工エ,艺技术要求,对设备主要性能进行检测,排气台的主要性能完好要求如下所列,a.按ZE-22管排气规范进行排气时,系统的真空极限压カ不得低于4X10-2Pa；,b,在初次工作时,扩散泵加热40min后,系统的真空极限压カ应达到1.33X10-3Pa；,c.在连续工作时,高真空阀打开后lOmin内,系统的真空极限压カ应迭到1. 33X10T,Pa；20min内,系统的真空极限压カ应达到1. 33X WTa,d.加热过程中,炉内被排气管在同一平面上,各点温度差不超过±10C,工作2h,炉外,壁温度不超过70C,2.2加热系统,2. 2.1在额定功率下,加热炉炉温在15min内,应由常温升至360℃o,2.2.2 炉体内壁完整,无损伤、破裂现象;保温性能良好,炉外壁温度在规定范围内,2.2.3 炉温自动控制装置性能灵敏,炉温及温升速度调节灵敏、可靠,温控精度不超过土,10℃o,2.3 操作系统,各操作开关,按钮启动灵活、标志齐全,2.4 传动系统,2.4.1 炉子升降机构应平稳,无阻滞、冲击和倾斜等现象,终点开关应可靠,2.4.2 高频线圈升降机构应平稳,无阻滞,冲击和倾斜等现象,联锁开关应可靠,保证高频线,圈完全退出后炉子才能下降,2.5 真空系统,2.5.1 真空系统密封良好,真空阀门开闭灵活、可靠,2.5.2 真空管路连接紧固可靠、畅通,2. 5.3真空泵运转平稳,无异常振动,无冲击,中华人民共和国电子工业部1994-04 15批准 1994-06-01实施,sj/t 31155-94,2.6 电气系统,2.6.1 灯丝电源应在下列范围可调:,电压:0.30V;电流:。.3A,2. 6. 2高频线圈中心与管子中心不同轴度不超过士0. 5mm,2.6 -3线路完整,绝缘层无破裂,无漏电现象,2.7 安全防护,2. 7.1各安全防护装置齐全、可靠,2. 7.2接地（或零）可靠,标志明显,2.8维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检査、评定方法,3.1 检査方法,完好要求中,2.1主要性能指标,运用相应检测器具检测,对各系统完好要求所列内容,采,用主、客观相结合的方法检査,3.2 评定方法,3. 2.1 完好要求中,2. 32. 2. 3,2. 3,2. 4.1、2. 5.1-2. 5. 3.2. 6. 3.2. 7. 1-2. 7. 2 为主要项,目,其余为次要项目,3.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3 完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出0,本标准由国营南光机器厂组织起草,本标准主要起草人:王洪波,2……
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